سایپرز، باشگاه دانش - ارائه دهنده مقالات ژورنالهای خارجی

اطلاعات و مشخصات مقاله

explorer iconلينك‌ها

[ بازگشت | جستجو | فهرست کلمات کلیدی | فهرست موضوعات | فهرست نویسندگان | فهرست ناشران | فهرست ژورنالها ]

info iconاطلاعات مقاله

[ 59 بار مشاهده چكيده]

عنوان مقاله:ارتعاشات فعال اختلالات کلان میکرو مرحله حرکت با استفاده از یک پلت فرم استاتور شناور
ناشر: [ Elsevier BV ]
ژورنال
دوره (شماره): (0)
سال انتشار:13 October 2015
شماره صفحات: 133313-33
نشانگر دیجیتالی شیء:[ 10.1016/j.jsv.2015.06.024 ]
شما اینجا هستید:
  1. Scipers, the Knowledge ClubScipers »
  2. Elsevier BV »
  3. Journal Of Sound And Vibration »
  4. Active vibration isolation of macro–micro motion stage disturbances using a floating stator platform

report iconنمايش خلاصه مقاله

Active Vibration Isolation Of Macro–micro Motion Stage Disturbances Using A Floating Stator Platform


مقاله: ارتعاشات فعال اختلالات کلان میکرو مرحله حرکت با استفاده از یک پلت فرم استاتور شناور

نويسند‌گان:


خلاصه مقاله:


Macro–micro motion stage is mainly applied in microelectronics manufacturing to realize a high-acceleration, high-speed and nano-positioning motion. The high acceleration and nano-positioning accuracy would be influenced by the vibration of the motion stage. In the paper, a concept of floating stage is introduced in the macro–micro motion for isolating vibration disturbances. The design model of the floating stage is established and its theoretical analyses including natural frequency, transient and frequency response analyses are investigated, in order to demonstrate the feasibility of the floating stator platform as a vibration isolator for the macro–micro motion stage. Moreover, an optimal design of the floating stator is conducted and then verified by experiments. In order to characterize and quantify the performance of isolation obtained from the traditional fixed stator and the floating stator, the acceleration responses at different accelerations, speeds and displacements are measured in x, y and z directions. The theoretical and experimental analyses in time and frequency domains indicate that the floating stator platform is effective to actively isolate the vibration in the macro–micro motion stage.


مرحله حرکت ماکرو میکرو است که عمدتا در میکروالکترونیک تولید به تحقق بخشیدن به حرکت شتاب بالا، سرعت بالا و نانو موقعیت استفاده شود. شتاب بالا و دقت نانو موقعیت خواهد بود ارتعاش مرحله حرکت را تحت تاثیر قرار. در این مقاله، یک مفهوم مرحله شناور در حرکت کلان میکرو برای منزوی اختلالات ارتعاش معرفی شده است. مدل طراحی مرحله شناور ایجاد شده است و تحلیلهای نظری خود را از جمله فرکانس طبیعی، تجزیه و تحلیل پاسخ گذرا و فرکانس مورد بررسی قرار گرفته، به منظور نشان دادن امکان پلت فرم استاتور شناور به عنوان یک جاذب ارتعاش برای مرحله حرکت کلان میکرو. علاوه بر این، طراحی بهینه از استاتور شناور انجام می شود و سپس توسط آزمایش تایید شده است. به منظور مشخص و تعیین کمیت عملکرد از انزوا به دست آمده از استاتور ثابت سنتی و استاتور شناور، پاسخ شتاب در شتاب های مختلف، سرعت، شتاب و جابه جایی هستند در جهات x، y و z اندازه گیری شد. تجزیه و تحلیل نظری و تجربی در زمان و فرکانس حوزه نشان می دهد که پلت فرم استاتور شناور موثر است به طور فعال منزوی ارتعاش در مرحله حرکت کلان میکرو.


كلمات كليدي:

Fixed stator platform, Floating stator platform , Macro–micro motion stage , Active vibration isolation, Fixed stator platform, Floating stator platform, Macro–micro motion stage
Fixed stator platform , Floating stator platform , Macro–micro motion stage , انزوا لرزش فعال, بستر های استاتور ثابت , شناور پلت فرم استاتور, مرحله حرکت ماکرو میکرو


موضوعات:

Mechanical Engineering, Acoustics and Ultrasonics, Mechanics of Materials, Condensed Matter Physics



[ ]

 

دسترسی بین المللی

اگر شما در داخل کشور (ایران) هستید و این صفحه را مشاهده می کنید، نشان می دهد که IP شما به هر دلیلی در لیست IP های ایران ثبت نشده است. برای رفع این مشکل کافی است IP خود را که در پایین این پیام درج شده از طریق آدرس ایمیل support@scipers.com به ما اطلاع دهید. پس از دریافت درخواست، کارشناسان فنی موضوع را بررسی می نمایند و در صورتی که محل اتصال شما از کشور ایران بوده باشد، به لیست استفاده کنندگان مجاز افزوده می شوید.
IP: 34.234.76.59

اطلاعات استنادی

اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

 

به اشتراک گذاری

این صفحه را با استفاده از انواع شبکه های اجتماعی با دوستان خود به اشتراک بگذارید.

برگشت به بالا
رونمایی از اولین و تنها ربات تلگرامی جستجوی مقالات ژورنالی
×