سایپرز، باشگاه دانش - ارائه دهنده مقالات ژورنالهای خارجی

اطلاعات و مشخصات مقاله

[ 88 | جستجو | فهرست کلمات کلیدی | فهرست موضوعات | فهرست نویسندگان | فهرست ناشران | فهرست ژورنالها ]


عنوان مقاله:خصلت پمپ های خشم ادا یون به در ترکیب با اهل غیر متصاعد استفاده
ناشر: [ Elsevier BV ]
ژورنال
[ Vacuum ]
دوره (شماره): ()
سال انتشار:January 2016
شماره صفحات: 232823-28
نشانگر دیجیتالی شیء:[ 10.1016/j.vacuum.2015.10.010 ]
شما اینجا هستید:
  1. Scipers, the Knowledge ClubScipers »
  2. Elsevier BV »
  3. Vacuum »
  4. Characterisation of sputter-ion pumps to be used in combination with non-evaporable getters

دسترسی بین المللی

اگر شما در داخل کشور (ایران) هستید و این صفحه را مشاهده می کنید، نشان می دهد که IP شما به هر دلیلی در لیست IP های ایران ثبت نشده است. برای رفع این مشکل کافی است IP خود را که در پایین این پیام درج شده از طریق آدرس ایمیل support@scipers.com به ما اطلاع دهید. پس از دریافت درخواست، کارشناسان فنی موضوع را بررسی می نمایند و در صورتی که محل اتصال شما از کشور ایران بوده باشد، به لیست استفاده کنندگان مجاز افزوده می شوید.
IP: 3.231.229.89

اطلاعات استنادی

اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

 

به اشتراک گذاری

این صفحه را با استفاده از انواع شبکه های اجتماعی با دوستان خود به اشتراک بگذارید.

خلاصه مقاله، نویسندگان و کلمات کلیدی

Characterisation Of Sputter-ion Pumps To Be Used In Combination With Non-evaporable Getters


مقاله: خصلت پمپ های خشم ادا یون به در ترکیب با اهل غیر متصاعد استفاده

نويسند‌گان:


خلاصه مقاله:


The pumping behaviour of sputter-ion pumps (SIPs), as a direct result of their underlying pumping mechanisms, is heavily influenced by several factors, including operation pressure and composition of the residual gas being pumped. Depending on their pumping history, SIPs can be thus characterised by transient phases in which some gases are released prior to the attainment of equilibrium between pumped and re-emitted species.In recent years, the feasibility of innovative vacuum pumps, based on the combination of SIPs with non-evaporable getter (NEG) technology, has been demonstrated; the optimisation of this coupling requires in-depth characterisations of SIPs, thus entailing the fine tuning of new specific testing procedures, which should flank and integrate the consolidated practice for SIP performance assessment. In this paper, some examples of the characterization of small SIPs are reported, in particular showing how the performances for Ar and CH4 can be evaluated in view of the synergic coupling with NEGs.


رفتار پمپاژ پمپ خشم ادا یون (اس.آی.پی.اس)، به عنوان یک نتیجه مستقیم از مکانیسم های پمپاژ مربوط به خود، به شدت توسط عوامل مختلف، از جمله فشار بهره برداری و ترکیب گاز باقی مانده پمپ تحت تاثیر قرار. با توجه به سابقه پمپاژ خود، SIP ها می توان در نتیجه فاز گذرا که در آن برخی گازها قبل از حصول تعادل بین species.In سال های اخیر دوباره ساطع پمپ و منتشر مشخص، امکان پمپ های نوآورانه خلاء، به ترکیب بر اساس جرعه با گیرنده غیر متصاعد (NEG) فن آوری، نشان داده شده است. بهینه سازی این جفت نیاز در عمق characterisations از جرعه، بنابراین متضمن تنظیم خوب از روش های جدید تست خاص، که باید از کناره ها و ادغام عمل تلفیقی برای ارزیابی عملکرد SIP. در این مقاله، چند نمونه از خصوصیات جرعه های کوچک گزارش شده است، در نشان دادن خاص چگونه برای اجرای Ar و CH4 می توان با در نظر گرفتن جفت سینرژیک با NEGS بررسی قرار گرفت.


كلمات كليدي:

Non-evaporable getters , UHV, Sputter-ion pumps
اهل غیر متصاعد , UHV , خشم ادا یون پمپ های


موضوعات:

Instrumentation, Surfaces, Coatings and Films, Condensed Matter Physics



[ ]

 

برگشت به بالا
رونمایی از اولین و تنها ربات تلگرامی جستجوی مقالات ژورنالی
×